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    雙腕玻璃基板搬運機器人

    適用于真空環境內搬運尺寸達730*920mm雙腕玻璃基板搬運機器人!

    產品詳情


    大動作范圍:搬運尺寸達730*920mm雙腕玻璃基板搬運機器人。

    手臂采用連桿機構實現高鋼性。

    采用真空內傳送帶驅動實現低放出氣體性能。

    手臂可內置基板傳感器用配線。

     

    技術參數:

    雙腕玻璃基板搬運機器人

    負載:95KG

    動態范圍:2300mm

    控制柜:DX100

    用途:搬運、潔凈室

    項目

    規格

    備注

    名稱

    SEMISTAR-VD95D


    機型

    XU-RVD1450D6-A10(配傳感電纜)


    構造

    水平多關節形(4個自由度)


    動作范圍

    L,R軸(伸縮)

    2300mm



    S軸(旋轉)

    -170°~+170°



    U軸(升降)

    150mm


    動作時間*1
    (上限速度運作時)

    L,R軸(伸縮)

    3.2秒以下

    2300mm伸縮距離

    S軸(回轉)

    3.8秒以下

    340deg旋轉距離(但L,R=0)

    U軸(升降)

    2.5秒以下

    150mm升降距離

    重復定位精度*2

    各軸±0.3mm

    抓手安裝部分中心位置時

    手臂抖動精度

    ±0.3mm以下

    水平方向,抓手安裝部分中心位置時

    負載

    95KG/手臂

    含抓手重量

    容許慣性力矩(CD2/4)

    最大118kg·m2

    含抓手重量,抓手安裝部分中心位置時

    耐真空度

    1*10-6Pa


    本體質量

    1500kg


    適用控制柜式樣

    ERDR-VD0095D-A00

    三相AC200V,3.0kVA

    *1:動作節拍不保證帶有基板時搬運速度。由于抓手的形狀及抓手的安裝部分的鋼性產生共振時,會影響動作節拍,請重新設定。
    *2:依據JIS B8432標準的動作重復定位精度。但有無工件時負載變動以及使用速度的差異、溫度變化的影響不考慮在內。

    注:圖文數據均以廠家提供為準。

     


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